工艺目的：

特殊物料（含溶剂、易燃易爆物、易氧化）在高温煅烧过程中，为了降低爆炸燃烧风险或为了满足特殊工艺需求，将惰性气体作为保护性气氛（通常为氮气）通入回转窑中，代替空气作为加热介质。通过在线监测的氧含量测定仪，控制气氛炉内的氧含量，整套设备采用间接式加热，密闭性好，无气体及粉尘外泄。

煅烧温度:100℃—1050℃

加热形式：间接式天然气/电加热

运行方式：连续进料连续出料

保护气氛：氮气

特点：

• 本化学气相沉积炉采用多温区控温，温度均匀性好；

• 本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

• 本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

• 本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。